- 작성일
- 2023.08.04
- 수정일
- 2023.08.04
- 작성자
- PEDAL
- 조회수
- 73
박우진, 한종구, 박소이 학생의 N2첨가에 따른 공정전환 연구 논문 출간을 축하합니다
박우진, 한종구, 박소이 학생의 N2첨가에 따른 공정전환 연구 논문 출간을 축하합니다.
Woojin Park, Jonggu Han, Solee Park, Se Youn Moon
The role of nitrogen addition in C4F8/Ar plasma to modulate the plasma process from polymerization to etching
Vacuum 216 (2023) 112466
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X23006632?via%3Dihub
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